亚洲狼人伊人中文字幕 I 无码不卡av东京热毛片 I 97人人模人人爽人人喊网 I 天天舔.天天操.天天插 I 污视频在线播放 I 三级久久试看3分钟 I 伊人成人网在线看 I 性久久久久久久久 I 一区精品视频 I 午夜在线看 I 日韩无人区码卡二卡1卡2卡网站 I 亚洲特黄视频 I 久久久国产乱子伦精品 I 偷窥自拍亚洲色图精选 I 天堂在线资源视频 I 国产美女性生活视频 I 亚洲无av在线中文字幕 I 免费午夜剧场 I 亚州av免费 I 13～14女人毛片视频 I 成人性做爰aaa片免费 I 四虎影视成人永久免费观看视频 I 国产明星裸体xxxx视频 I av中文字幕在线播放 I 国产精品一卡二卡 I 特黄特色的欧美大片免费 I 少妇久久久久久人妻无码 I 99热只有这里有精品 I 欧美va天堂 I 一本色道久久亚洲综合精品蜜桃 I 免费黄网站在线观看

　　第一種形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

　　第二種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級改造困難，因此操作靈活性很低。

　　第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進行系統(tǒng)升級和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求，因此在半導體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設計方案。

　　FFU層流罩循環(huán)系統(tǒng)的特點是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風、循環(huán)風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務設備區(qū)域，包括電力供應、氣體和化學品供應、超純水供應等。